鍍膜冷水機的工作原理是膜體在高溫下蒸發落在工件表面結晶，由于空氣對蒸發的膜體分子會產生阻力造成碰撞使結晶體變得粗糙無光，所以須在高真空下才能使結晶體細密光亮；如真空度不高結晶體就會失去光澤結合力也很差，早期的冷水機是依靠蒸發體自然散射，結合差工效低光澤差，現在森瑞克加上中頻磁控濺射靶用磁控射靶將膜體的蒸發分子在電場的作用下加速轟擊靶材，濺射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉積在基片上成膜，解決了過去自然蒸發無法加工的膜體品種，如鍍鈦鍍鋯等等。
    鍍膜冷水機具有立的制冷系統，不會受氣溫及環境的影響，水溫在5℃ ～30℃ 范圍內調節控制，因而可以達到高精度、高xiao率控制溫度的目的，設有立的水循環系統，非常實用。